威卡WUD-2x系列高纯传感器将先进的传感器理念与模拟输出信号相结合， 能够为当前市场需求提供安全、准确的压力测量。基于真空基准的压力测量，以及干扰屏蔽和信号噪声消除的电子措施，确保了高准确度的压力测量和长期稳定性。威卡 半导体设备超高纯气体UHP压力传感器WUD-20

威卡WUD-2x系列高纯传感器将先进的传感器理念与模拟输出信号相结合， 能够为当前市场需求提供安全、准确的压力测量。基于真空基准的压力测量，以及干扰屏蔽和信号噪声消除的电子措施，确保了高准确度的压力测量和长期稳定性。主动温度补偿功能减少了温度变化对传感器的影响，即使在温度波动较大的应用中（如气体膨胀情况下的焦耳-汤姆逊效应）或无空气调节区域也能安全运行。WUD-25管道式及WUD-26表面安装传感器采用特别设计，可承受安装带来的扭曲应力。薄膜传感器的特殊设计消除了由于过程连接或焊接接头处的负载而导致的传感器故障的风险。WUD-2x可轻松安装于“on-tool"配气系统中。明亮的LED显示屏可旋转，因此可从任意位置轻松查看读数。配备2个可编程开关输出，可针对具体应用进行监测及控制。WUD-2x为紧凑型UHP传感器， 够用于安装空间狭小的场合，甚至可轻松对现有装置进行改装。

威卡 半导体设备超高纯气体UHP压力传感器WUD-20

应用

半导体、平板显示器和太阳能光伏产品

半导体生产系统中的超高纯气体供应

功能特性

高准确度压力测量0.15 % RSS

出色的长期稳定性

信号降噪和屏蔽

真空基准压力测量

主动温度补偿

威卡 半导体设备超高纯气体UHP压力传感器WUD-20